KOGANEI小金井FPD用電動(dòng)CT泵

小金井FPD用電動(dòng)CT泵詳細(xì)分析報(bào)告

一、產(chǎn)品概述

小金井FPD用電動(dòng)CT泵是日本KOGANEI（小金井）公司專為平板顯示器（FPD）制造設(shè)計(jì)的精密泵，主要用于液晶（LCD）、等離子顯示板（PDP）、有機(jī)EL等基板用狹縫涂布機(jī)中，實(shí)現(xiàn)光刻膠、純水及藥液的高精度均勻涂抹。其核心優(yōu)勢(shì)在于：

高精度定量吐出：通過(guò)步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)流量精準(zhǔn)控制，吐出量重復(fù)精度達(dá)±1% F.S.。

低發(fā)塵與除泡性：接液部采用氟樹(shù)脂（PTFE）材料，無(wú)滑動(dòng)結(jié)構(gòu)，減少粒子產(chǎn)生，適合無(wú)塵環(huán)境。

結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單可靠：無(wú)需日常維護(hù)，適用于半導(dǎo)體晶片微細(xì)化工藝。

二、技術(shù)參數(shù)

參數(shù)規(guī)格

類型電動(dòng)CT泵（F-EPT系列），如F-EPT30型、F-EPT60型等

最大吐出量30ml、60ml、100ml、200ml、300ml（可根據(jù)基板尺寸選擇）

最大吐出壓力0.05MPa至0.15MPa（具體取決于型號(hào)）

吐出量精度±1% F.S.（滿量程）

使用流體光刻膠、純水、藥液（不可燃性物質(zhì)）

驅(qū)動(dòng)方式步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，配套控制器單元實(shí)現(xiàn)流量控制

接液部材料氟樹(shù)脂（PTFE），耐腐蝕且低發(fā)塵

三、應(yīng)用場(chǎng)景

FPD制造核心工藝

狹縫涂布機(jī)：用于基板表面光刻膠的均勻涂抹，確保涂膜厚度一致性。

微細(xì)化半導(dǎo)體晶片：適配下一代半導(dǎo)體工藝，滿足高精度流體控制需求。

環(huán)境要求

潔凈室環(huán)境：需在無(wú)塵車間使用，避免塵埃污染影響涂布質(zhì)量。

流體限制：嚴(yán)禁使用可燃性物質(zhì)，防止安全隱患。

KOGANEI小金井FPD用電動(dòng)CT泵